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影 响排气效果,气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接,以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接,以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气,影响排气效果。以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通,以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成,石墨具有强度高,抗热震性好,耐 高温,抗氧化,电阻系数小,耐腐蚀,易于精密机等优点。
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我们要维护保养单晶炉,要知道单晶炉的核心部件,维护保养中主要检查,将故障排除。单晶炉需要注意的是坩埚轴驱动部件。进行半自动拉晶,可以在显示器上修改,立即生效,操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制,信号故障判断诊断功能,可以排除观察孔污染,信号扰。因此系统结构简单,具有用电省,发热小的特点。系统可靠性很高,不会死机。同时触摸屏和PLC间工作,连接仅仅使用1根通讯线即可。(2)控制软件。工业彩色触摸屏电气特点(1)本系统采用PLC系统能按照工艺员写入的工艺文件加热电源故障(4)电气硬件设置整个机箱布局合理,简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。两个电极孔孔距:480mm25,耗水量:25m3/h